有機ELディスプレイ、有機EL照明、有機薄膜太陽電池、バリアフィルム、液晶、半導体、MEMS、二次電池、燃料電池、電極
株式会社セルバック

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ICPCVD解説

ICPCVD（誘導結合型プラズマCVD)概要

ICP-CVDの特長

ガス分解

➡　ICPの高密度プラズマで高効率にガスを分解し、低温で処理

基盤加熱

➡　加熱なし
　　加熱あり（オプション追加可能）

膜質

➡　高密度（ガラス並みの高度）
　　高耐久性（高温湿でも安定）
　　屈折率、応力も任意調整可能

カバレッジ性

➡　条件調整でカバレッジ性も良好

クリーニング（チャンバー内）

➡　プラズマクリーニングによるセルフ方式

対象基板

➡　Siウエハ、ガラス、セラミック、有機デバイス、プラスチック、フィルム

※より詳しい情報につきましては弊社Webサイトをご覧ください。

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