株式会社佐用精機製作所
半導体加工のサポート
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株式会社佐用精機製作所
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設備 |
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設備紹介
ボンダー |
|
| 自動ダイボンダー（九松、ニチデン、ＡＳＭ、自社製） | １４台 |
| 自動ワイヤーボンダー（九松、海上、新川、自社製） | １３台 |
| マニュアルワイヤーボンダー | ５台 |
チップ部品 |
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| 汎用マウンター | １台 |
| 小基板用マウンター | ２台 |
| リフロー炉 | ２台 |
| セミオート印刷機 | １台 |
樹脂関連 |
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| トランスファープレス | ２台 |
| 自動ポッティング機 | ５台 |
プレス |
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| 自動プレス機 | １台 |
| １０ｔプレス | ２台 |
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新規設備
SW22UHプラズマ洗浄ユニット付ワイヤーボンダー
動作説明
SW22UHプラズマ洗浄ユニットはアルゴンガスを使用し洗浄します。
- チャンバー内を真空にしアルゴンガスを導入します。
- チャンバ内に導入されたガスをプラズマ化しワークを洗浄します。
洗浄条件範囲
ガス流量：0～10ml/min
RF入射：0～500W
処理時間：0～999ｓ
（処理時間はMAX120ｓ程度）
※より詳しい最新情報は弊社WEBサイトをご覧下さい。
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